크린룸 규격

Fed.Std.209E 의 규격(Outline of Fed.Std.209E)

Fed.Std.209E(Class) 분포

Fed.Std.209E의 주요 개정

항 목 내 용
단위 Miter법을 주로 하고, 영국 단위를 병용해서 기록
Class 표시

0.5㎛이상의 입자수를 10/㎥로 하고 X를 Class 표시로 했다.

Miter법 표시임을 명확히 하기 위해 M을 부가했다. 예를들면, 209D 에 있어서 Class 100은 100P/ft≒10 P/㎡ 이고, Class M3.5로 표시합니다.
Class분류 209D Class 1보다 청정도가 높은 Class M1 및 Class 100,000보다 청청도가 낮은 Class M7을 추가했습니다.
미소입자계측

계측에 CNC의 사용을 가능하게 하고, 그 경우 계측 입자 지름을 0.02㎛ 이상으로 했습니다.

이 경우 표시는 Class U(X)로 합니다.

U = 미소입자 계측표시 X = 최대 허용 입자농도 P/㎥
표준측정입자 0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 5Micron을 기준으로 하나, 그 외의 입자 지름을 사용해도 좋습니다.
샘플링

계측 장소에 따라 다른 샘플링 유량에 의해 계측해도 좋으나, 입자농도는 개/단위체적으로 표시할 것.

샘플링 점이 10군데 이상인 경우 측정치는 단순평균으로 괜찮다.

Class M2.5보다 청정도가 높은 경우에는 계측 시간단축을 위해 연속 샘플링을 해도 좋습니다.
부록 209D의 관련규격, 용어는 삭제되고, 등속 흡인법, 초미소립자 농도 측정법, Class M2.5 보다 청정도가 높은 경우의 연속 샘플링법의 3항목이 추가됩니다.
Class 상한치는, 각 Class 이름이 됩니다.
상한치는 지정입 이상의 농도(단위 체적당 입자수)로 표시됩니다
Class표시 Class상한치
0.1㎛ 0.2㎛ 0.3㎛ 0.5㎛ 5㎛
단위체적 단위체적 단위체적 단위체적 단위체적
Miter법 영국단위 (㎥) (ft3) (㎥) (ft3) (㎥) (ft3) (㎥) (ft3) (㎥) (ft3)
M1   350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283 … …
M1.5 1 1,240 35.0 265 7.50 106 3.0 35.3 1.0 … …
M2   12,400 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 … …
M2.5 10 35,000 350 2,650 75.0 1,060 30.0 353 10.0 … …
M3   … 991 7,570 214 3,090 87.5 1,000 28.3 … …
M3.5 100 … … 26,500 750 10,600 300 3,530 100 … …
M4   … … 75,700 2,140 30,900 875 10,000 283 … …
M4.5 1,000 … … … … … … 35,300 1,000 247 7.0
M5   … … … … … … 10,000 2,830 618 17.5
M5.5 10,000 … … … … … … 353,300 10,000 2,470 70.0
M6   … … … … … … 1,000,000 28,300 6,180 175
M6.5 100,000 … … … … … … 3,530,000 100,000 24,700 700
M7   … … … … … … 10,000,000 283,000 61,800 1,750
Clean Room의 기류속도
Clean Room의 기류속도 선택에 관한 일반적 규칙을 나타냅니다.
기류속도는(1)평균속도(m/sec or ft/min)또는 (2)시간당 환기횟수(횟수/hour)로 규정됩니다.

Clean Room의 기류속도(IES-RP-CC012/Table1)

Class표시 기류형태 평균기류속도 시간당환기
M7 & M6.5 (Class 100,000) NM .005-.041 m/sec (1-8ft/min) 5-48
M6 & M5.5 (Class 10,000) NM .051-.076 m/sec (10-15ft/min) 60-90
M5 & M4.5 (Class 1,000) NM .127-.203 m/sec (20-40ft/min) 150-240
M4 & M3.5 (Class 100) UNM .203-.406 m/sec (40-80ft/min) 240-480
M3 & M2.5 (Class 10) U .254-.457 m/sec (50-90ft/min) 300-540
M2 & M1.5 (Class 1) U .305-.457 m/sec (60-90ft/min) 360-540
M1 Cleaner U .305-.508 m/sec (60-100ft/min) 360-600

U= 단일 방향류 N=비단일 방향류 M=혼류

1. 평균 기류 속도는, 일반적으로 단일 방향류(층류)경우에 이용합니다.
2. 시간당 환기 횟수는, 다음의 식에 의해 산출됩니다.
시단당 환기 횟수[횟수/hr]=평균 기류 속도(m/sec) x 토출면적(㎡) x 3,600sec 실내용적(㎡)

전체 계획 순서

Lay-Out 주의점

항목 내용
출입구

· 입구, 출구는 최소로 하고 따로 생각해야 합니다. (특히, Air Shower설치시)

· 직접 외기에 닿지 않도록 할 것 (Air 락룸)

· 위치는 하류로 한다. (특히 크로스플로어)
갱의실

· 갱의실 공기량은 많이 취해야 합니다.

· 세면대를 부착시키고, 사람이 많은 경우는 음료수를 준비

· Clean Room간은 적어로 이중문으로 해야 합니다. (Air Shower장치 설치)

· 내부와의 통신을 가능하게 해야 합니다.

· 필요하다면 휴식실을 설치해야 합니다.
반출·반입

· 가능한 한 Pass Box를 이용 (부품)

· 반입구를 부착시킵니다. (대형장치)
실내배치

· 최소로 합니다. 단순하게 합니다.

· 관리사무소를 외부에 둔다. 연락법 고려.

· 확장계획 · 사람의 이동을 최소로 합니다.

· 청정기류 방향과 작업위치

· 발진 작업에는 칸막이, 국소배기, Retum Duct로 대책.
실내설비

· 배선, 관Duct 노출은 최소로 합니다.

· 조명기구는 가능한 한 천장안으로.

· 비상구, 화재경보, 소화기, 정전, 유독가스

· 인터폰, 전화

· 청소

· 입자농도, 온도, 습도기록

크린룸과 각실간의 필요 압력차

ROOM 압력차
청정도가 다른 CLEAN-ROOM 상호간 0.5
CLEAN-ROOM과 CLEAN복도, 갱의실 등 0.5 ~ 1.0
CLEAN복도, 갱의실과 일반실 1
CLEAN-ROOM과 일반실 1.5

청정도 등급별 환기횟수

청정도 환기횟수
CLASS 100 200 ~ 600
CLASS 1,000 50 ~ 70
CLASS 10,000 30 ~ 40
CLASS 100,000 20 ~ 30

청정도 등급별 색의 분류

CLASSIF CATION BY FED. STANDARD CLASSIF CATION BY FED. STANDARD
OUT AIR BLACK
DUST-CONTROLLED AREA GRAY
CLASS 10,000 ~ 100,000 LIGHT GRAY
CLASS 100 ~ 10,000 WHITE

실내 허용 소음치

실또는 건물의 종류 소음계 dB(A) NC / NCA치
크린룸 55 ~ 60 45 ~ 50
스튜디오 (실 용적중) 25 ~ 30 15 ~ 20
음악홀 30 ~ 35 20 ~ 25
연극장, 강당, 다목적홀 35 ~ 40 25 ~ 30
도시주택, 아파트, 호텔, 병실 35 ~ 45 25 ~ 35
학교교실, 연구실, 회의실 35 ~ 45 25 ~ 35
영화관 35 ~ 45 25 ~ 35
도서관 35 ~ 45 25 ~ 35
소사무실, 공장내의 시험실, 연구실 40 ~ 50 30 ~ 40
대사무실, 은행관청의 외래부, 로비 45 ~ 55 35 ~ 45
상점, 레스토랑 45 ~ 55 NCA 35 ~45
공장내의 제어실, 관리실 45 ~ 55 NCA 35 ~45