크린룸 개요
- Clean Room 이란?
- 공기 중의 부유 미립자가 규정된 청정도 이하로 관리되고, 또한 그 공간에 공급되는 재료, 약품, 물 등에 대해서도 요구되는 청정도가 유지되며, 필요에 따라서 온도/습도/압력 등의 환경조건 등에 대해서도 관리가 행하여지는 공간을 말한다. 그 이외에 실내 기류 형상과 속도/유해가스/진동/실내 조도 등이 관리항목으로 요구되고 있다. 그리고 클린룸은 반도체 산업뿐만 아니라 정밀산업, 전자산업, 의학품제조, 식품제조산업, 광학기계, 병원, 실험실 등 광범위한 범위까지 다양하게 적용되고 있다. 또한 바이오 크린룸은 상기 크린룸에서 실내공기중의 생물 및 무생물 미립자를 제어한 공간을 말한다.
| 기본원칙 | 고려사항 | 조치사항 |
|---|---|---|
| Ⅰ. Preventig | 실내공기압력 | 실간 차압조정, 양압유지, 도입외기량 조정 |
| 건축적인 동선 계획 | 직업원, 물류, 원료의 동선 구분 | |
| 청정역과 오염역의 구분 | ||
| Air Lock, Air Shower 설치 | ||
| HEPA Filter | Filter Leak 방지 | |
| Ⅱ. Prohibity | 인원관리 | 필요인원 출입통제, 작업원 동선 최소화 |
| 인원의 복장관리 | 무균의, 청정장갑 착용, 인체호흡 기류차단 | |
| Ⅲ. Proteetig | 실내기류 | 취출구 위치조정, 충류풍속 및 환기회수 조정 |
| 건축 내장재 | 무정전 내장재 사용, Comer Mould 사용 | |
| 실내청소 | 청소기중에 따른 지속실시 | |
| Ⅳ. Purgiry | Clean Room 방식 | 시설용도의 정확한 파악 |
| Clean Room 방식 | 기류 분포 예상 및 환기구 위치 조정 발진 | |
| 환기회수 | 환기 회수를 높게 유지 |
대기중 입자의 크기
- 대기중에는 눈으로 확인할 수 있는 미세먼지, 기름연기 및 금속분말 등에서 부터 육안으로는 확인되지 않는 미립자 등 먼지가 부유하고 있습니다.
그 입자들의 크기는 0.001㎛에서 100㎛ 정도까지 대기중에 광범위하게 포함하고 있습니다. 사람의 육안으로 확인할 수 있는 입자의 크기는 10㎛ 이상이며 이러한 먼지는 크린룸에서 제거하기에는 너무 크기 때문에 공조기에서 제거되어야 합니다. 크린룸에서 제거되는 입자의 크기는 1㎛ 이하의 입자(Sub micron)를 대상으로 하고 있습니다.
FED(almrdusqkdrbrur)에서 규정하고 있는 청정도 대상 입자는 0.5㎛을 표준으로 규정하고 있습니다. - 아래의 그림에서는 대기중 입자의 크기를 나타내고 있습니다.
